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PRODUCTS CNTER半导体共面性测量设备结构美观大方,操作简便,结合本公司自主研发的测量软件,可实现准确的元器件共面性、工件外形尺寸等测量,性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求。
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共面性指表面组装元器件引脚垂直高度偏差,即引脚的高脚底所成水平面与引脚的脚底形成的水平面之间的垂直距离。PZ-332C半导体共面性测量设备龙门结构美观大方,操作简便,结合本公司自主研发的测量软件,可实现准确的元器件共面性、工件外形尺寸等测量,性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求。
产品特点:
具有快速对焦、自动寻边、强大的编程和自动测量功能
采用亚像素细分技术,提高图像边界分辨能力
操纵杆/鼠标操作,方便易用
程控恒流驱动式八区表面冷光源,可适应复杂的工件测量
激光指示器指示测量位置,方便快速定位
在线SPC数据处理分析,大批量治具测量功能
三轴伺服控制,定位精度高速度快,XY速度可达300mm/s,运行平稳
自主开发的嵌入式模块控制系统,将复杂的控制系统集成在仪器内部,稳定性更高
采用花岗石底座,性能稳定,不易变形
产品规格:
型号 PZ-332C | |
XY轴运动视觉量程 | ≥400mm×300mm |
XY轴运动激光量程 | ≥300mm×300mm |
Z轴运动量程 | 100mm |
XYZ光栅数显分辨率 | 0.5µm |
XY轴运动定位精度 | ±3µm |
载物台防静电处理 | 加防静电胶皮 |
载物台承重 | ≥2公斤 |
可检测最小球直径 | ≤60µm |
视觉影像系统 | |
光学镜头倍率 | 0.6X~8X |
视频总放大倍率 | 约16X~420X |
光学镜头物方视场 | 约1mm~10mm |
光学镜头工作距离 | 约80mm |
XY示值误差(视觉测量) | ±(2.5+L/200)µm
|
高清晰度工业数字相机 | 200W |
底光源、环形表面光源、同轴光源 | 程控LED冷光源 |
线激光头参数 | |
线激光Z向静态测量范围 | 5.2mm |
激光线总宽度 | 14.5mm |
Z向运动测量示值误差(激光测量) | ±5µm |
激光线点间距 | 5µm |
工控主机及显示器 | |
CPU | Intel i7
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内存 | 32G |
液晶显示器 | 23.8寸 |
硬盘 | 2TB |
其 它 技 术 参 数 | |
电源 | AC220V 50/60HZ 1200W |
仪器净重 | 约760kg |
仪器外形尺寸(长*宽*高) | 1100mm×1000mm×1550mm |
使用环境 | 室温20℃±2℃,湿度低于60%,振动<0.002g,低于15Hz, |
产品原理:
半导体共面性测量设备通过线激光对芯片有焊锡球及引脚的表面进行扫描,采集出三维点云数据,并由软件处理生成工件的3D图形,通过软件算法提取3D图中每个焊锡球或引脚的最高点,再用所有最高点生成一个平面,并计算出平面度值即为焊锡球或者引脚共面性。