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半导体共面性测量设备

产品简介

半导体共面性测量设备结构美观大方,操作简便,结合本公司自主研发的测量软件,可实现准确的元器件共面性、工件外形尺寸等测量,性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求。

产品型号:PZ-332C
厂商性质:生产厂家
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产品简介:

共面性指表面组装元器件引脚垂直高度偏差,即引脚的高脚底所成水平面与引脚的脚底形成的水平面之间的垂直距离。PZ-332C半导体共面性测量设备龙门结构美观大方,操作简便,结合本公司自主研发的测量软件,可实现准确的元器件共面性、工件外形尺寸等测量,性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求。

 

半导体共面性测量设备

产品特点:

  • 具有快速对焦、自动寻边、强大的编程和自动测量功能

  • 采用亚像素细分技术,提高图像边界分辨能力

  • 操纵杆/鼠标操作,方便易用

  • 程控恒流驱动式八区表面冷光源,可适应复杂的工件测量

  • 激光指示器指示测量位置,方便快速定位

  • 在线SPC数据处理分析,大批量治具测量功能

  • 三轴伺服控制,定位精度高速度快,XY速度可达300mm/s,运行平稳

  • 自主开发的嵌入式模块控制系统,将复杂的控制系统集成在仪器内部,稳定性更高

  • 采用花岗石底座,性能稳定,不易变形

 产品规格:

 型号 PZ-332C

XY轴运动视觉量程

≥400mm×300mm

XY轴运动激光量程

300mm×300mm

Z轴运动量程

100mm

XYZ光栅数显分辨率

0.5µm

XY轴运动定位精度

±3µm

载物台防静电处理

加防静电胶皮

载物台承重

2公斤

可检测最小球直径

60µm

视觉影像系统

光学镜头倍率

0.6X~8X

视频总放大倍率

16X~420X

光学镜头物方视场

1mm~10mm

光学镜头工作距离

80mm

XY示值误差(视觉测量)

±(2.5+L/200µm

 

高清晰度工业数字相机

200W

底光源、环形表面光源、同轴光源

程控LED冷光源

线激光头参数

线激光Z向静态测量范围

5.2mm

激光线总宽度

14.5mm

Z向运动测量示值误差(激光测量)

±5µm

激光线点间距

5µm

工控主机及显示器

CPU

Intel i7

 

内存

32G

液晶显示器

23.8

硬盘

2TB

其 它 技 术 参 数

电源

AC220V 50/60HZ 1200W

仪器净重

760kg

仪器外形尺寸(长**高)

1100mm×1000mm×1550mm

使用环境

室温20℃±2℃,湿度低于60%,振动<0.002g,低于15Hz,  



























产品原理:

半导体共面性测量设备通过线激光对芯片有焊锡球及引脚的表面进行扫描,采集出三维点云数据,并由软件处理生成工件的3D图形,通过软件算法提取3D图中每个焊锡球或引脚的最高点,再用所有最高点生成一个平面,并计算出平面度值即为焊锡球或者引脚共面性。


 

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