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产品简介
OLED显微镜是利用金属光激发OLED发光后测量OLED蒸镀尺寸和偏移等缺陷的显微镜。影像量着重于准确度，系统底座采用铸件/花岗石本体结构，减震系统克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题。系统采用XY轴光学尺模块可实现跨距量测。
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产品名称：OLED显微镜
产品简介：OLED显微镜是利用金属光激发OLED发光后测量OLED蒸镀尺寸和偏移等缺陷的显微镜。影像量测著重于准确度，系统底座采用铸件/花岗石本体结构，减震系统克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题。系统采用XY轴光学尺模块可实现跨距量测。光学系统采用Nikon/Olympus荧光显微镜光路实现对OLED的激发。人性化计算机量测模式，有效提高观察定位效率。专为使用者设计*机型，使操作更便利、测量更迅速。
产品特点：
手动量测系统XY采用精密无牙螺杆传动，减少齿轮传动偏移误差
线性马达/伺服马达用于自动化量测传动系统，能实现高精度测量
系统采用被动式or主动式减震系统，能克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题
系统使用Nikon/Olympus 荧光显微光路，有效激发OLED发射光谱
系统使用人体工学设计理念设计，符合友好化测量
设备应用：
设备主要应用OLED的显微分析和蒸镀测量上
量测工具 | 点,线,圆,弧,椭圆,槽型,曲线等各项不规则外型取样 |
形位公差 | 真圆度,同心度,垂直度,倾斜度,位置度,等各项形位公差设置 |
UV功能验证 | UV光源下图像清晰 |
断面测量 | 按照PO spec要求进行测试并保存结果 |
自动计算offset | 根据蒸镀有机材料的位置与设定的蒸镀位置对比,计算offset;或者是将UV光图像位置和上光源下图片位置对比,计算offset |
UV光和卤素光自动切换 | 在软件中点击切换按钮后,可以自动切换光源并呈现相应的图像 |
SPC | 软件须附带SPC功能,量测之数据须能自动导出作分析 |
报表输出 | 软件可客制化输出客户所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG |
7.3.2 设备配置&特征 7.3.2System Configuration& Characteristic
| 外部尺寸：L*W*H≤2500*2500*2000mm |
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*测量行程：X*Y≥750*650mm Z≤100mm |
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重量：≤5000kg |
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承重：≥10kg Capacity: ≥10kg |
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*高测量准确度：XYZ≤1μm *Maximum Accuracy: XYZ≤1μm |
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*机台重复性：≤1μm *Machine Repeatability:≤1μm |
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XYZ最小移动距离：XYZ≤1um XYZ minimum move distance: XYZ≤1um |
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XYZ移动精度: XYZ≤1um XYZ move precision: XYZ≤1um |
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*XYZ轴移动速度: XYZ≤200mm/s |
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7.3.3机械本体 7.3.3 Mechanics | 主机：影像测量系统，四轴CNC控制 Machine: 4-axis CNC video measuring machine |
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机械结构：花岗岩或相同性能材质 Structure: Granite or comparable material |
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平面度公差：≤7um Platness Tolerance: ≤7um |
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*光栅尺分辨率：XYZ≤0.5um |
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*摄像机：彩色相机，200万像素,WAN接口 *Camera: Color camera, 2000000 pixels, the wan interface |
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*CCD芯片尺寸：≥2/3英寸 *CCD Size: ≥2/3 inch |
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光学系统配置：检偏镜，起偏镜，红蓝绿滤光片，0.5X C接口，明暗场光学系统，五孔电动鼻轮 The optical system configuration: a polarizer, red green and blue filters, 0.5X C-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel |
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*光学放大倍率：5X/10X/20X/50X/100X |
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光源特征：光源可以采用卤素灯、汞灯，寿命满足SPEC要求 |
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7.3.5电控系统、 7.3.5 Control System | 电机：直流伺服电机 Dynamo:DC servo motor |
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操作类型：鼠标和操作手柄，按键 Control Type: Mouse and Joystick |
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7.3.6软件系统 7.3.6 Software System | 功能:点，直线，圆，弧，椭圆，槽等测量功能，带有线追踪功能，粒子计数，软件定位系统，软件控制光源亮度，软件控制电动鼻轮，软件控制孔径光阑 |
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图像：可复制，可进行大面积图形无缝拼接 Image: can copy |
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*数据格式：JPG/Excel *Data format: JPG/Excel |
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7.3.7 其它 7.3.7 Others | *防微振装置:达到VC-B级别的防震平台 *Anti-vibration device: Yes |
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*静电防护：离子风棒 *ESD: BUAS |
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