技术文章
TECHNICAL ARTICLES产品简介:
测量分析显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
产品特点:
1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力
2. 电动Z轴分辨力0.1μm
3. 具有高度自动测量
4. 内建偏光测量光学模块
5. 高速/无接触测量
6. 同轴光/底光测量
7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
测量分析显微镜技术规格参数:
型号 | PZ-3020MA | ||||
工作台 | 金属台尺寸(mm) | 500 x 330 | |||
玻璃台尺寸(mm) | 350 x 250 | ||||
X、Y轴运动行程(mm) | 300 x 200 | ||||
手动Z轴行程(mm) | 120 | ||||
自动Z轴行程(mm) | 2 | ||||
外形尺寸(mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
仪器重量(kg) | 130 | ||||
X、Y、Z轴分辨力(μm) | 0.5 | ||||
自动Z轴分辨力(μm) | 0.1 | ||||
示值误差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度,单位mm) | ||||
物镜放大倍数误差 | 包括畸变在内的放大率误差≦0.08% | ||||
落射照明光源 | 可调高亮度卤素灯 | ||||
底光照明光源 | 可调高亮度LED灯源 | ||||
目视系统 | 影像系统 | ||||
物镜放大倍数 | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X;10X Mirau物镜 | |||
目镜放大倍数 | 10X双镜筒 | 1/2”CCD摄像机 | |||
视频总倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”显示器,分辨率1440 x 900) | |||
单层透明膜厚度测量模组 | |||||
高精度测量模式 | 快速测量模式 | ||||
厚度测量范围 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |
测量软件介绍:
(1) 测量元素种类齐全:直接测量12种元素(点、直线、圆、圆弧、椭圆、矩形、槽形、○形环、距离、角度、开云线,闭云线)。测量闭合云线的周长,面积及重心,使用三次插值算法,为目前准测量云线的方法。采样点越多,越准确。
(2) *寻边算法:确保寻边准确无误.亚像素寻边,精度可达像素的1/10,专业的专家寻边模式,或解决打了表面光之后,寻边困难的问题,通过各种寻边算法的设置,可解决各种各样的寻边难题,从而准确的抓取边界。有自动去毛边功能,对阴暗不明的边界一样可以准确的找出.
(3) 宏测量功能:宏测量功能就是,将一些测量,构造命令关联到一个按钮上。点击按钮,即开始执行宏测量功能,宏测量功能会自动完成构造动作,减少用户操作鼠标次数,提高工作效率。软件提供了16组宏测量功能,用户可以自己编辑宏测量功能按钮的图标。
(4) 强大的构造功能:软件提供向导的构造功能,这是软件的一大特色。客户想要什么结果,直接点击相关按钮,就可以自动得到想要的结果.软件提供了10种构造法(【平移】、【旋转】、【提取】、【组合】、【平行】、【垂直】、【镜像】、【对称】、【相交】、【相切】)
(5) 的小R角测量算法:对于大半径,小弧长的R角,一直是测量界的测量难题,我公司经过大量的实验及算法优化,终于创造出一套行之有效的算法,很好的解决这一问题.通过测量弧及弧相邻的两条切线,可解决这一难题.经实践,重复性可达0.01之内.
(6) 自动判别测量(自动识别线,圆,弧):只要将鼠标放在工件的边缘上,即可自动寻边得到线,圆或者弧.
(7) 显示结果丰富:对各种元素的测量结果显示﹐其信息量大﹐能满足各种客户的需要。并可设置哪些内容显示,哪些内容不显示﹐也可以单个元素进行设置其显示信息。也可对同类元素进行设置.
(8) 超差红色警示:如果测量结果超差,会指示是哪项内容超差,并将该项显示成红色,对应的图形也会变成红色.
(9) 能显示光学放大倍率和屏幕放大倍率:下图中显示了光学放大倍率与屏幕放大倍率,屏幕放大倍率是由软件自动计算得到的,并能显示一个像素相当于多少mm。
(10) 能建立多重工件坐标系:可根据图纸建立多重工件座标系。实现各坐标系的座标变换;能方便地实现直角坐标系与极坐标系之间的相互转换;能实现各工件坐标系的存储和调用。建立座标系后,如果选择了十字线旋转功能,十字线会作旋转,指示座标系的旋转方向
(11) 建立用户程序方便快捷:可以通过平移和旋转建立的用户程序。
(12) 编辑修改用户程序,直观方便:可以删除,插入任一元素,包括座标系。可以查看某个元素的寻边状况,及改变寻边测量的环境。如果有必要,可以重新测量一个元素,以改变它的测量方法及环境。
(13) 机器自动测量过程中可进行手动测量:如果客户在测量某个,或某几个元素时,希望手动测量它,而不希望机器自动去测,软件可以轻松实现。软件提供了断点设置功能,可在要手动测量的元素地方,设置断点,则机器运行到该处时,会自动停下来。