超高分辨场发射扫描电子金属显微镜

超高分辨场发射扫描电子金属显微镜现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

超高分辨场发射扫描电子金属显微镜"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。

超高分辨场发射扫描电子金属显微镜通过电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的性能。

• 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

• 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能

• 采用污染小、高真空样品仓

• 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

样品：金颗粒
着陆电压：10 V

超高分辨观察

样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV