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TECHNICAL ARTICLES扫描电子金属显微镜 FlexSEM 1000通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
扫描电子金属显微镜 FlexSEM 1000详细介绍
紧凑型设计,分辨率为4 nm*1
通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片
导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野
大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2
扫描电子金属显微镜 FlexSEM 1000技术规格
项目 | 内容 | |
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分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) 15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式) 5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式) | |
加速电压 | 0.3 kV ~ 20 kV | |
放大倍率 | 6× ~ 300,000× (底片倍率) 16× ~ 800,000× (显示倍率) | |
低真空模式 | 真空范围:6 ~ 100 Pa | |
电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
样品台 | 3-轴自动马达台 X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm R:360°, T:-15° ~ +90° | |
大样品尺寸 | 直径80 mm | |
大样品高度 | 40 mm | |
尺寸 | 主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm 供电单元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm | |
探测器选配 |
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