技术文章
TECHNICAL ARTICLES
半导体/FPD检测显微镜采用符合人体工学的易用设计,能够提供大 300mm 晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计,能够提供适用于多种检查用途的观察系统。
半导体/FPD检测显微镜现今智能手机产业的发展带动了包括半导体、平板显示(FPD)、印制电路板(PCB)等整个电子制造业的进步。适合大样品的检测、人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。
半导体/FPD检测显微镜
新MX63/MX63L显微镜是该系列支持奥林巴斯MIX照明功能的产品,由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中,MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。
长寿命高强度白色LED照明:始终一致的色温
新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源,兼顾低功耗和长寿命的特点,而且其稳定的色温为可靠的图像质量和的色彩复现提供了保障。
功能性:适合所有晶园尺寸
新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于大晶圆直径200mm,MX63L可用于大晶圆直径300mm。此外,新显微镜还可以选配晶园搬送机,实现可靠、安全、的对晶圆正面和背面进行检测。
模块化:全面可定制
新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计,并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内,镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。